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广东科视获得吸附型装载组织及曝光机专利确保装载组织吸附待曝光件的有效性

  金融界2024年12月16日音讯,国家知识产权局信息数据显现,广东科视光学技能股份有限公司获得一项名为“吸附型装载组织及曝光机”的专利,授权公告号 CN 222145396 U,请求日期为2024年4月。

  专利摘要显现,本请求触及曝光机装载组织技能领域,特别触及一种吸附型装载组织及曝光机。经过吸附的方法固定待曝光件。当待曝光件放置于装载组织时,经过负压设备使吸附孔构成负压,从而经过大气压力将待曝光件固定于装载组织。因为待曝光件区域内的吸附孔主要由待曝光件接受大气压力,因而密封件遭到的大气压力较小,弹性件使密封件免除对吸附孔的密封。而待曝光件区域外的吸附孔没有待曝光件接受大气压力,因而,由密封件接受大部分的大气压力,使密封件紧贴装载台组件,从而对吸附孔进行封堵,避免漏气现象的发生,从而确保装载组织吸附待曝光件的有效性,并下降负压设备的功率,从而下降曝光设备的能耗。如此,进步装载组织的可靠性,下降曝光设备能耗。

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